Format:
xiv, 290 Seiten
,
Illustrationen, Diagramme
,
25 cm
Edition:
First edition
ISBN:
9780470061213
,
0470061219
Note:
Includes bibliographical references and index
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe, PDF ISBN 9781118696255
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe, EPUB ISBN 9781118696231
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe ISBN 9781118696224
Language:
English
Keywords:
Wafer
;
Fertigung
;
Halbleitertechnologie
;
Wafer
;
Intelligente Fertigung
;
Handhabungstechnik
;
Materialflusssystem
;
Transportsystem
;
Automation
;
Computersimulation
