Note:
Dissertation Chemnitz, Technische Universität Chemnitz 2021
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-746432
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Opferschicht
;
MEMS
;
Mikromechanik
;
Epitaxie
;
Mikrosystemtechnik
;
PECVD-Verfahren
;
LPCVD-Verfahren
;
Trockenätzen
;
Hochschulschrift
URL:
Volltext
(kostenfrei)