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MyFEMOS : Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren (2006)

Bär, Manfred,

Karlsruhe :KIT Scientific Publishing,

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Details

UID:

edoccha_9961125488802883

Umfang: 1 online resource (110 pages) : , illustrations.

Serie: Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik, Automatisierungstechnik, Universität Karlsruhe (TH) ; Band 10

Inhalt: Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.

Weitere Ausg.: ISBN 1000003769

Sprache: Deutsch

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