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    Abbildende Ellipsometrie mit Lichtwegumkehrung für die optische Charakterisierung von gekrümmten Oberflächen / (2023)
    Göttingen :KIT Scientific Publishing,
    Details
    UID:
    almafu_9961213436902883
    Umfang: 1 online resource (324 pages).
    Serie: Schriftenreihe Automatische Sichtprüfung und Bildverarbeitung ; 6
    Inhalt: Ellipsometry is a measuring method for surface characterization and thin-film measurement of flat surfaces using polarized light. However, a new measuring principle based on return-path ellipsometry and retroreflection enables the detection of free-form surfaces. This new measurement principle and related questions regarding the measurement function, evaluation algorithms and ambiguities as well as degrees of freedom of the solution set are examined in this work.
    Weitere Ausg.: ISBN 1000158762
    Sprache: Deutsch
    Bibliothek Standort Signatur Band/Heft/Jahr Verfügbarkeit
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