Format:
1 Online-Ressource (154 pages)
ISBN:
9783737604079
Content:
Front cover -- Titelseite -- Impressum -- Danksagung -- Abkürzungsverzeichnis -- Abbildungsverzeichnis -- Tabellenverzeichnis -- Inhaltsverzeichnis -- 1 Einführung und Motivation -- 1.1 Mikro Opto-elektromechanische Systeme -- 1.2 Motivation -- 1.3 Das Funktionsprinzip von aktiven Fenstern -- 1.4 Der Nutzen aktiver Fenster -- 2 Stand der Technik -- 2.1 Vergleichbare Systeme zur Abschattung und Lichtlenkung -- 2.2 MEMS zur Manipulation von Licht -- 2.3 Mikrospiegel-Arrays -- 2.4 großflächige Applikation vonMikrospiegelsystemen -- 2.5 Vorangegangene Arbeiten -- 2.5.1 Patent Nr.: DE 103 58 967 B4 -- 2.5.2 DBU Abschlussbericht Nr.: 'AZ 23717' -- 2.5.3 Dissertation von V. Viereck -- 2.5.4 Dissertation von Q. Li -- 3 Mechanische Spannung -- 3.1 Aktuationsmechanismen -- 3.2 Mechanische Spannung -- 4 Die Herstellung der Mikrospiegel-Arrays -- 4.1 Anforderungen an Mikrospiegel-Arrays zur Tageslichtlenkung -- 4.2 Der Herstellungsprozess zu Beginn dieser Arbeit -- 4.2.1 Herstellung des Multischichtsystems -- 4.2.2 Strukturierung der verschiedenen Schichten -- 4.2.3 Ablösen der Mikrospiegelelemente vom Substrat -- 4.2.4 Der vollständige Herstellungsprozess -- 4.2.5 Erste Aktuationsmessungen -- 5 Der novellierte Prozess -- 5.1 Umstellung des Materialsystems -- 5.1.1 Das Substrat -- 5.1.2 Die Transparente Elektrode -- 5.1.3 Die Isolationsschicht -- 5.1.4 Wegfall der Träger- und Kompensationsschicht -- 5.2 Intrinsisch verspannte Aluminiumschichten -- 5.2.1 Erzeugung der intrinsischen Spannung -- 5.3 Der neue Unterätzschritt -- 5.3.1 Nasschemisches Unterätzen -- 5.3.2 Trocknungsverfahren -- 5.3.3 Oberflächenrauheit -- 6 Kompensation durch geometrische Materialaussparungen -- 6.1 Theoretische Modellrechnungen -- 6.2 Beleg der Machbarkeit -- 6.2.1 Konfokalmikroskopie -- 6.2.2 Bestimmung der Krümmungsradien -- 7 Erste großflächige Umsetzungsversuche.
Additional Edition:
ISBN 9783737604062
Additional Edition:
Erscheint auch als Druck-Ausgabe Jäkel, Andreas Intrinsisch verspannte Aluminiumschichten zur Herstellung von tageslichtlenkenden Mikrospiegel-Arrays Kassel : Kassel University Press GmbH,c2017 ISBN 9783737604062
Language:
German
URL:
Volltext
(lizenzpflichtig)
