ISSN:
0171-8096
Content:
Der vorliegende Beitrag stellt die besonderen Merkmale, die Funktionsweise, den Aufbau, die messtechnischen Eigenschaften sowie wichtige Applikationsmessungen des interferometrischen Rasterkraftmikroskops dar. Das interferometrische Rasterkraftmikroskop dient als Antastsystem in der Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1. Sein Hauptmerkmal ist der Lagedetektor - das kombinierte Sondenmesssystem, das die gleichzeitige Erfassung der Torsion, Biegung und Position des Cantilevers mittels Lichtzeiger und Interferometer ermöglicht. Es wird das Prinzip der gleichzeitigen Erfassung von Position und Winkellage der Sonde mittels eines Interferometers und eines Lichtzeigers erläutert, die optische Anordnung vorgestellt und anschließend die durchgeführte Dimensionierung des Lagedetektors diskutiert. Außerdem widmet sich dieser Beitrag neben den messtechnischen Eigenschaften des interferometrischen Rasterkraftmikroskops auch der Kalibrierung des Antastsystems und insbesondere der Unsicherheitsanalyse einer Beispielmessung.
Note:
Sprache der Zusammenfassung: Deutsch und Englisch
In:
Technisches Messen, Berlin : de Gruyter, Oldenbourg, 1976, 85(2018), S1, Seite S52-S58, 0171-8096
In:
volume:85
In:
year:2018
In:
supplement:S1
In:
pages:S52-S58
Language:
German
DOI:
10.1515/teme-2018-0023
Author information:
Manske, Eberhard 1956-
Author information:
Jäger, Gerd 1941-
Author information:
Vorbringer-Dorozhovets, Nataliya 1980-