Book
Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik GmbH Karlsruhe
Format:
51 S
,
Ill., graph. Darst
Edition:
Als Ms. gedr
Series Statement:
Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie T 82-216
Note:
Förderkennzeichen BMFT NT 0938
,
Sprache der Zusammenfassung: Englisch
,
Mit engl. Zsfassung
Language:
German
Keywords:
Maskentechnik
;
Röntgenlithografie
;
Polyimide
;
Forschungsbericht
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