Umfang:
1 Online-Ressource (248 p)
,
Mit 80 Abbildungen und 17 Tabellen
Ausgabe:
Reprint 2021
Ausgabe:
[Online-Ausgabe]
ISBN:
9783112484623
Inhalt:
Frontmatter -- Inhaltsverzeichnis -- Vorwort des Autors für die deutsche Ausgabe -- Vorwort des Herausgebers der deutschen Ausgabe -- Vorwort -- 1. SiO2--Schichten auf Silicium -- 2. Siliciumnitridschichten -- 3. Schichten aus polykristallinem Silicium -- 4. Methoden zur Struktur Untersuchung von Schaltkreismaterialien -- Zusammenfassung -- Abkürzungsverzeichnis -- Literaturverzeichnis -- Sachverzeichnis
Anmerkung:
Mode of access: Internet via World Wide Web.
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In German
Weitere Ausg.:
ISBN 9783112484616
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als print ISBN 9783112484616
Sprache:
Deutsch
DOI:
10.1515/9783112484623
