Format:
1309 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
3932434153
Language:
English
Subjects:
Engineering
Keywords:
Mikrosystemtechnik
;
Mikromechanik
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Mikroelektronik
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Werkstoff
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Mikrosystemtechnik
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Mikromechanik
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Mikroelektronik
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Werkstoff
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Konferenzschrift
Author information:
Michel, Bernd 1949-