ISSN:
1057-7157
In:
Journal of microelectromechanical systems, New York, NY : IEEE, 1992, 24(2015), 5, Seite 1622-1631, 1057-7157
In:
volume:24
In:
year:2015
In:
number:5
In:
pages:1622-1631
Language:
English
Author information:
Rangelow, Ivo W.
Author information:
Ivanov, Tzvetan 1973-