Umfang:
XX, 142 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
3826574133
Serie:
Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik 5
Anmerkung:
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2000
Sprache:
Deutsch
Schlagwort(e):
Mikromechanik
;
Siliciumbauelement
;
Trockenätzen
;
Fotolithografie
;
Prozessoptimierung
;
Mikromechanik
;
Siliciumbauelement
;
Plasmaätzen
;
Fotolithografie
;
Prozessoptimierung
;
Hochschulschrift