Umfang:
1 Online-Ressource
Ausgabe:
Online_Ausgabe Berlin [u.a.] Springer 2005 Springer ebook collection / Chemistry and Materials Science 2005-2008 Sonstige Standardnummer des Gesamttitels: 041171-1
ISBN:
9783540319153
Serie:
Springer Proceedings in Physics 107
Weitere Ausg.:
Reproduktion von Microscopy of Semiconducting Materials 2005
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Druckausgabe ISBN 978-3-540-31914-6
Sprache:
Englisch
Schlagwort(e):
Halbleiter
;
Mikroskopie
;
Konferenzschrift
DOI:
10.1007/3-540-31915-8