Umfang:
XIV, 410 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
25 cm
Ausgabe:
2., rev. and enlarged ed.
ISBN:
3527406506
,
9783527406500
Anmerkung:
Literaturangaben
Sprache:
Englisch
Fachgebiete:
Technik
Schlagwort(e):
Dünne Schicht
;
Metallschicht
;
Elektroniktechnologie
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Mikroelektronik
;
Dünne Schicht
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Metallschicht
;
Elektroniktechnologie
;
Mikroelektronik
Mehr zum Autor:
Schneider, Claus M.