Umfang:
Online-Ressource (368p)
,
digital
Ausgabe:
Springer eBook Collection. Chemistry and Materials Science
ISBN:
9789401142618
Serie:
NATO Science Series, Series 3. High Technology 73
Inhalt:
This concise volume contains the key papers presented during the International NATO Advanced Research Workshop on Silicon on Insulator device technologies. The authors have moved beyond reporting the current state of the technology to explore wider issues, from the economic aspects incorporating SOI and related materials into circuits and systems to consideration of low temperature electronics, quantum devices and MEMS. Readership: Postgraduate and professional engineers and researchers in the major silicon manufacturing companies, universities and research institutes
Weitere Ausg.:
ISBN 9780792361176
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Druck-Ausgabe ISBN 9780792361169
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Druck-Ausgabe ISBN 9780792361176
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Druck-Ausgabe ISBN 9789401142625
Sprache:
Englisch
DOI:
10.1007/978-94-011-4261-8
URL:
Volltext
(lizenzpflichtig)