Format:
XXVI, 572 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
0471005770
Series Statement:
A Wiley-Interscience publication
Language:
English
Subjects:
Physics
Keywords:
Plasmadynamik
;
Festkörperoberfläche
;
Dünne Schicht
;
Niederdruckplasma
;
Dünnschichttechnik
URL:
http://www.loc.gov/catdir/toc/onix03/94028954.html
URL:
http://www.loc.gov/catdir/description/wiley032/94028954.html
URL:
http://www.loc.gov/catdir/bios/wiley041/94028954.html