Format:
IX, 148 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3183310090
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 310
Note:
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1999
Language:
German
Subjects:
Physics
Keywords:
Silicium
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Halbleiteroberfläche
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Rauigkeitsmessung
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Lichtstreuung
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Rasterkraftmikroskopie
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Hochschulschrift
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Hochschulschrift