Format:
IV, 110 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
3832200401
Series Statement:
Berichte aus der Physik
Note:
Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 2001. - Enth. dt. und engl. Zusammenfassg.
Language:
German
Keywords:
Germanium
;
Amorpher Halbleiter
;
Wasserstoff
;
Cat-CVD-Verfahren
;
Magnetronsputtern
;
Hochschulschrift