Format:
VII, 214 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
3000168893
Note:
Beitr. teilw. dt. und teilw. engl.
,
Beitr. teilw. dt., teilw. engl.
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Mikrosystemtechnik
;
Mikroelektronik
;
Konferenzschrift
Author information:
Dötzel, Wolfram 1941-2023