Format:
103 S. : Ill.
Note:
Tübingen, Univ., Diss., 1985
Language:
German
Keywords:
Elektronenstrahlschreiben
;
Feldemissionskathode
;
Elektronenstrahllithografie
;
Elektronenstrahlschreiben
;
Elektronenstrahlschreiben
;
Feldemissionskathode
;
Elektronenstrahllithografie
;
Hochschulschrift