Format:
XI, 469 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
3540168982
,
0387168982
Series Statement:
Springer proceedings in physics 13
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe ISBN 978-3-642-71446-7
Language:
English
Subjects:
Physics
Keywords:
Mikrostruktur
;
Halbleiter
;
VLSI
;
Mikrostruktur
;
Mikroskopische Technik
;
Konferenzschrift