Format:
XVIII, 769 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
0127468501
Series Statement:
Academic Press rapid manuscript reproduction
Language:
English
Subjects:
Physics
Keywords:
Elektronenstrahlabtragung
;
Materialbearbeitung
;
Laser
;
Materialbearbeitung
;
Elektronenstrahl
;
Laserbearbeitung
;
Werkstoff
;
Elektronenstrahlbearbeitung
;
Fertigungstechnik
;
Laserstrahlung
;
Halbleiterwerkstoff
;
Konferenzschrift