Format:
XI, 127 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3183492024
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2] 492
Note:
Dissertation Universität Hannover 1998
Language:
German
Subjects:
Physics
Keywords:
Optisches Glas
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Maskentechnik
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Laserlithografie
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Excimerlaser
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Hochschulschrift
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Hochschulschrift