Format:
115 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
3896755730
Series Statement:
Physik
Note:
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1999
Language:
German
Subjects:
Physics
Keywords:
Silicium
;
Kristalloberfläche
;
Langmuir-Blodgett-Film
;
Dickenmessung
;
Ellipsometrie
;
Mikroskopie
;
Hochschulschrift