UID:
edoccha_9961125488802883
Format:
1 online resource (110 pages) :
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illustrations.
Series Statement:
Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik, Automatisierungstechnik, Universität Karlsruhe (TH) ; Band 10
Content:
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.
Additional Edition:
ISBN 1000003769
Language:
German
