Format:
IX, 111 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
318320309X
Series Statement:
Fortschrittberichte VDI 203
Note:
Zugl.: Berlin., Techn. Univ., Diss., 1994
Language:
German
Keywords:
CMOS
;
Integration
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Siliciumsensor
;
Beschleunigungssensor
;
Intelligenter Sensor
;
Hochschulschrift