Format:
220 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
9783941003071
Note:
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008
Additional Edition:
Internetausg. u.d.T. Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen
Additional Edition:
Online-Ausg. Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen 2008
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Dünnschichttechnik
;
Verkappen
;
Mikrostruktur
;
Opferschicht
;
Polymere
;
PECVD-Verfahren
;
Dünnschichttechnik
;
Verkappen
;
Mikrostruktur
;
Opferschicht
;
Polymere
;
PECVD-Verfahren
;
Hochschulschrift
