Format:
VIII, 367 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:
0-306-41803-7
Series Statement:
The IBM research symposia series.
Note:
Literaturangaben
Language:
English
Subjects:
Engineering
,
Computer Science
Keywords:
Halbleitertechnologie
;
Integrierte Schaltung
;
Technologie
;
Integrierte Schaltung
;
Technik
;
Röntgenlithografie
;
Fotolithografie
;
VLSI
;
Mikroelektronik
;
Konferenzschrift
;
Ionenlithographie
;
Konferenzschrift
;
Ionenlithographie
URL:
http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=001434883&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA
Author information:
Bargon, Joachim, 1939-