Book
San Diego [u.a.] :Acad. Press,
Format:
XII, 253 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:
0-12-533027-8
Series Statement:
Thin films 27
Language:
English
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
PVD-Verfahren
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Aufsatzsammlung
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Aufsatzsammlung
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