Format:
XXIII, 523 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
0815512201
Series Statement:
Materials science and process technology series
Language:
English
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
Plasmatechnik
;
Sputtern
;
Halbleiter
;
Plasmastrahlbearbeitung
;
Plasmaätzen
;
Plasmametallurgie
;
Dünnschichttechnik
;
Plasma
;
Ätzen
;
Plasmametallurgie