Format:
X, 153 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3181441082
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 8] 341
Note:
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1993
Language:
German
Keywords:
Beschleunigungssensor
;
Siliciumsensor
;
Beschleunigungssensor
;
Hochschulschrift
;
Hochschulschrift