Format:
XI, 172 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms gedr.
ISBN:
3181438057
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] 338
Note:
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1993
Language:
German
Keywords:
Mikromechanik
;
Silicium
;
Schichtwerkstoff
;
Mechanische Eigenschaft
;
Mikromechanik
;
Silicium
;
Wafer
;
Bruchfestigkeit
;
Hochschulschrift
;
Hochschulschrift