Umfang:
XXVI, 572 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
0471005770
Serie:
A Wiley-Interscience publication
Sprache:
Englisch
Fachgebiete:
Physik
Schlagwort(e):
Plasmadynamik
;
Festkörperoberfläche
;
Dünne Schicht
;
Niederdruckplasma
;
Dünnschichttechnik
URL:
http://www.loc.gov/catdir/toc/onix03/94028954.html
URL:
http://www.loc.gov/catdir/description/wiley032/94028954.html
URL:
http://www.loc.gov/catdir/bios/wiley041/94028954.html