Format:
125 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
1. Aufl.
ISBN:
389574140X
Series Statement:
Wissenschaftliche Schriftenreihe Elektrotechnik 14
Note:
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Silicium
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Halbleitersubstrat
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Halbleiterdrucksensor
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Kapazitiver Sensor
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Hochschulschrift
;
Hochschulschrift