Format:
1309 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
3932434153
Note:
Nebensacht.: Micro materials
Language:
English
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
Werkstoffkunde
;
Mikrosystemtechnik
;
Mikrosystemtechnik
;
Mikromechanik
;
Mikroelektronik
;
Werkstoff
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Konferenzschrift
Author information:
Michel, Bernd 1949-