Format:
III, 128 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
3832201785
Series Statement:
Berichte aus der Halbleitertechnik
Note:
Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 2002
Language:
German
Keywords:
Solarzelle
;
Silicium
;
Grafit
;
Elektronenstrahlbearbeitung
;
Kristallisation
;
PECVD-Verfahren
;
Hochschulschrift