Format:
168 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
9783862470471
Note:
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2010
Language:
German
Keywords:
Wafer
;
Silicium
;
Poröser Stoff
;
Hohlraumbildung
;
Mehrschichtsystem
;
Vergrabene Schicht
;
Chip
;
Dünne Schicht
;
Halbleitertechnologie
;
Hochschulschrift
Author information:
Zimmermann, Martin 1976-