Format:
xv, 410 Seiten
,
Illustrationen
ISBN:
9780128202555
Series Statement:
Woodhead Publishing series in electronic and optical materials
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe ISBN 978-0-12-820256-2
Language:
English
Subjects:
Engineering
Keywords:
Halbleitertechnologie
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Laserbearbeitung
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Nanoelektronik