Format:
VIII, 156 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3181448095
Series Statement:
Fortschrittberichte VDI 148
Note:
Literaturverz. S. 147 - 156
,
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1992
Language:
German
Subjects:
Physics
Keywords:
Siliciumbauelement
;
Oberfläche
;
Veredelung
;
Elektronische Eigenschaft
;
Silicium
;
Oberfläche
;
Hochschulschrift