UID:
kobvindex_ZBW12225799
Format:
143 Seiten
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
9783844027495
Series Statement:
Schriftenreihe Laboratorium Mess- und Informationstechnik 8
Content:
Im Bereich der Oberflächeninspektion wurde die Entwicklung von Verfahren der Streulichtmesstechnik in den vergangenen Jahren weit vorangetrieben. Die vorliegende Dissertation konzentriert sich auf abbildende Systeme der Streulichtmesstechnik. Die theorethischen Grundlagen der Streulichtmesstechnik und der gegenwärtige Stand der Technik werden vorgestellt. Die Zielstellung der Arbeit,die Entwicklung abbildender Verfahren zur Oberflächencharakterisierung,ein systematischer Geräteentwurf sowie experimentelle Untersuchungen sind Bestandteile der vorliegenden Arbeit.
Language:
German
Keywords:
Forschungsbericht
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Hochschulschrift
Author information:
Zhao, Wenjing
