UID:
kobvindex_ZLB12366492
Format:
20 Seiten
,
8 graph. Darst.
,
22 cm
Edition:
1
ISBN:
3055008316
Series Statement:
[Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR / N] N, Mathematik, Naturwissenschaften, Technik 1990,3
Language:
German
Keywords:
Halbleitermesstechnik
;
Mikroelektronik