Format:
XII, 115 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
318332301X
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 1] 323
Note:
Zugl.: Zürich, Techn. Hochsch., Diss. - Zsfassung in engl. Sprache
Language:
German
Keywords:
Goniometer
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Positionierung
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Piezoelektrischer Aktor
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Durchstrahlungselektronenmikroskop
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Lagemessung
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Elektronenmikroskop
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Winkelmessung
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Hochschulschrift
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Hochschulschrift
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