Format:
VI, 153 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3183359057
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] 359
Note:
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.
Language:
German
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
Sputtern
;
Titancarbid
;
Titannitrid
;
Mischkristall
;
Schutzschicht
;
Mechanische Eigenschaft
;
Hochschulschrift
;
Hochschulschrift
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