Format:
129 S.
,
Ill., graph. Darst.
Note:
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
Additional Edition:
Online-Ausg. Dienel, Marco, 1978 - Entwicklung und Analyse von Arrays mikromechanischer Beschleunigungssensoren 2009
Language:
German
Keywords:
Beschleunigungssensor
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Computersimulation
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Digitale Regelung
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MEMS
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Redundanz
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Sensorelektronik
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Trägerfrequenzmessung
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Hochschulschrift
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