Format:
139 S.
,
1 Diskette
,
23 cm
ISBN:
9783931828479
,
3931828476
Series Statement:
Dresdner Beiträge zur Sensorik Bd. 9
Note:
Zugl.: Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Habil.-Schr., 1999 u.d.T.: Mehner, Jan: Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Silizium-Mikrostrukturen
Language:
German
Keywords:
Mikrosystemtechnik
;
Siliciumbauelement
;
Systementwurf
;
Hochschulschrift
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