Umfang:
VI, 153 S.
,
Ill., graph. Darst.
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3183359057
Serie:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] 359
Anmerkung:
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.
Sprache:
Deutsch
Fachgebiete:
Technik
,
Physik
Schlagwort(e):
Sputtern
;
Titancarbid
;
Titannitrid
;
Mischkristall
;
Schutzschicht
;
Mechanische Eigenschaft
;
Hochschulschrift
;
Hochschulschrift
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