Format:
XIV, 410 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
25 cm
Edition:
2., rev. and enlarged ed.
ISBN:
3527406506
,
9783527406500
Note:
Literaturangaben
Language:
English
Subjects:
Engineering
Keywords:
Dünne Schicht
;
Metallschicht
;
Elektroniktechnologie
;
Mikroelektronik
;
Dünne Schicht
;
Metallschicht
;
Elektroniktechnologie
;
Mikroelektronik
Author information:
Schneider, Claus M.