Format:
220 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
21 cm
Note:
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008 (Nicht für den Austausch)
Additional Edition:
Online-Ausg. Reuter, Danny, 1974- Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen
Language:
German
Keywords:
Hochschulschrift