Format:
Online-Ressource (24.64 MB)
Note:
Chemnitz, Techn. Univ., Diss, 2008
Additional Edition:
9783941003071
Additional Edition:
Erscheint auch als Druck-Ausgabe Reuter, Danny, 1974 - Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz, 2009 9783941003071
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Mikrosystemtechnik
;
Opferschicht
;
Plattentheorie
;
Hochschulschrift
URN:
urn:nbn:de:bsz:ch1-200800721
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